Наименование товара |
Молекулярная формула |
Чистота |
фосфин |
Ph3 |
6N |
Мышьяк гидрид |
ASH3 |
6N |
Аммиак |
NH3 |
6N |
Хлор |
CL2 |
5N |
Трихлорид бора |
BCL3 |
5N |
Тетрафторид углерода |
CF4 |
5N |
Сера гексафторид |
SF6 |
5N |
Оксид азота |
N2O |
5N |
Кислород |
O2 |
6N |
Аргон |
Ar |
6N |
Неон |
Ne |
6N |
Ксенон |
Xe |
6N |
F2+He |
F2(5N)+He(6N) |
|
SiH4/Si2H6+H2 Смешанный газ |
6N |