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Gás especial para fabricação de LCD

Nome do Produto

Fórmula molecular

Pureza

Silano

SiH4

6N

Trifluoreto de nitrogênio

NF3

5N

Tetrafluoreto de carbono

CF4

5N

Hexafluoreto de enxofre

SF6

5N

Tricloreto de boro

BCl3

5N

Fosfina

PH3+H2

6N

Diborano

B2H6+H2

B2H6(5N)+H2(6N)

HCL+H2+Ne

HCL(5N)+H2 
(6N)+Ne(6N)

F2+He

F2(5N)+He(6N)





Nome do Produto

Fórmula molecular

Pureza

Óxido nitroso

N2O

5N

Dióxido de carbono

CO2

5N

Cloro

Cl2

5N

Amônia

NH3

6N

Hidrogênio

H2

6N

Oxigênio

O2

5N

Azoto

N2

6N

Argônio

Ar

6N

Hélio

He

6N

Xenon

Xe

6N

Néon

Ne

6N

Krypton

Kr

6N



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