Nome do Produto |
Fórmula molecular |
Pureza |
Fosfina |
Ph3 |
6N |
Hidreto de arsênico |
ASH3 |
6N |
Amônia |
NH3 |
6N |
Cloro |
CL2 |
5N |
Tricloreto de boro |
BCL3 |
5N |
Tetrafluoreto de carbono |
CF4 |
5N |
Hexafluoreto de enxofre |
SF6 |
5N |
Óxido nitroso |
N2O |
5N |
Oxigênio |
O2 |
6N |
Argônio |
Ar |
6N |
Néon |
Ne |
6N |
Xenon |
Xe |
6N |
F2+He |
F2(5N)+He(6N) |
|
SiH4/Si2H6+H2 Mixed Gas |
6N |