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Gas especial para la fabricación de LCD

Nombre del producto

Fórmula molecular

Pureza

Silano

SiH4

6N

Trifluoruro de nitrógeno

NF3

5N

Tetrafluoruro de carbono

CF4

5N

Hexafloruro de azufre

SF6

5N

Tricloruro de boro

BCl3

5N

Fosfina

PH3+H2

6N

Diborano

B2H6+H2

B2H6(5N)+H2(6N)

HCL+H2+Ne

HCL(5N)+H2 
(6N)+Ne(6N)

F2+He

F2(5N)+He(6N)





Nombre del producto

Fórmula molecular

Pureza

Óxido nitroso

N2O

5N

Dióxido de carbono

CO2

5N

Cloro

Cl2

5N

Amoníaco

NH3

6N

Hidrógeno

H2

6N

Oxígeno

O2

5N

Nitrógeno

N2

6N

Argón

Ar

6N

Helio

He

6N

Xenón

Xe

6N

Neón

Ne

6N

Criptón

Kr

6N