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Gas especial para la energía solar fotovoltaica

Nombre del producto

Fórmula molecular

Pureza

Monosilano

SiH4

5N

PH3+H2 

PH3(5.5N)+H2(6N)

Amoníaco

NH3 

6N

Tetrafluoruro de carbono

CF4 

5N

TMB+SiH4/H2

TMB(2.5N)+SiH4(6N)/H2(6N)

B2H6+H2 

B2H6(5N)+H2(6N)

Metano

CH4 

5N

Nitrógeno

N2 

5N

Helio

He

5N

Argón

Ar

5N

Oxígeno

O2 

5N