Nombre del producto |
Fórmula molecular |
Pureza |
Monosilano |
SiH4 |
5N |
PH3+H2 |
PH3(5.5N)+H2(6N) |
|
Amoníaco |
NH3 |
6N |
Tetrafluoruro de carbono |
CF4 |
5N |
TMB+SiH4/H2 |
TMB(2.5N)+SiH4(6N)/H2(6N) |
|
B2H6+H2 |
B2H6(5N)+H2(6N) |
|
Metano |
CH4 |
5N |
Nitrógeno |
N2 |
5N |
Helio |
He |
5N |
Argón |
Ar |
5N |
Oxígeno |
O2 |
5N |