Nombre del producto |
Fórmula molecular |
Pureza |
Fosfina |
Ph3 |
6N |
Hidruro de arsénico |
ASH3 |
6N |
Amoníaco |
NH3 |
6N |
Cloro |
CL2 |
5N |
Tricloruro de boro |
BCL3 |
5N |
Tetrafluoruro de carbono |
CF4 |
5N |
Hexafloruro de azufre |
SF6 |
5N |
Óxido nitroso |
N2O |
5N |
Oxígeno |
O2 |
6N |
Argón |
Ar |
6N |
Neón |
Ne |
6N |
Xenón |
Xe |
6N |
F2+He |
F2(5N)+He(6N) |
|
SiH4/Si2H6+Gas mezclado H2 |
6N |