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Gaz spécial pour la fabrication de semi-conducteurs

Nom du produit

Formule moléculaire

Pureza

Monosilane

SiH4

6N

Disilane

Si2H6

6N

DichIorosilane

Si2H2CL2

5N

Trichlorosilane

SiHCL3

5N

Tétrachlorure de silicium

SiCL4

5N

Trichlorure de bore

BCL3

5N

Phosphure d'hydrogène

PH3

5.5N

Hydrure d'arsenic

AsH3

5.5N

Borane

B2H6

5N

GermanoMéthane

GeH4

5N

Ammoniac

NH3

6N

Protoxyde d'azote

N2O

5N

Hexafluorure de tungstène

WF6

5N

Trifluorure de bore

BF3

5N

Trifluorure d'azote

NF3

5N

Trifluorométhane

CHF3

5N

Tétrafluorure de carbone

CF4

5N





Nom du produit

Formule moléculaire

Pureza

Trifluoroiodométhane

CF3i

4.5N

Hexafluoroéthane

C2F6

5N

Octafluoropropane

C3F8

5N

Octafluorocyclobutane

C4F8

5N

Chlore

CL2

5N

Chlorure d'hydrogène

HCL

5N

Acide bromhydrique

HBr

5N

Monoxyde de carbone

CO

5N

Dioxyde de carbone

CO2

5N

Azote

N2

6N

Hydrogène

H2

6N

Oxygène

O2

5N

Hélium

He

6N

Néon

Ne

6N

 Xénon

Xe

6N

Krypton

Kr

6N

 Argon

Ar

6N