Nom du produit |
Formule moléculaire |
Pureza |
Phosphine |
Ph3 |
6N |
Hydrure d'arsenic |
ASH3 |
6N |
Ammoniac |
NH3 |
6N |
Chlore |
CL2 |
5N |
Trichlorure de bore |
BCL3 |
5N |
Tétrafluorure de carbone |
CF4 |
5N |
Hexafluorure de soufre |
SF6 |
5N |
Protoxyde d'azote |
N2O |
5N |
Oxygène |
O2 |
6N |
Argon |
Ar |
6N |
Néon |
Ne |
6N |
Xénon |
Xe |
6N |
F2+He |
F2(5N)+He(6N) |
|
SiH4/Si2H6+H2 Mixed Gas |
6N |