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Gaz spécial pour la fabrication de LED

Nom du produit

Formule moléculaire

Pureza

Phosphine

Ph3

6N

Hydrure d'arsenic

ASH3

6N

Ammoniac

NH3

6N

Chlore

CL2

5N

Trichlorure de bore

BCL3

5N

Tétrafluorure de carbone

CF4

5N

Hexafluorure de soufre

SF6

5N

Protoxyde d'azote

N2O

5N

Oxygène

O2

6N

Argon

Ar

6N

Néon

Ne

6N

Xénon

Xe

6N

F2+He

F2(5N)+He(6N)

SiH4/Si2H6+H2 Mixed Gas

6N