Nom du produit

Formule moléculaire

Pureza

Silane

SiH4

6N

Trifluorure d'azote

NF3

5N

Tétrafluorure de carbone

CF4

5N

Hexafluorure de soufre

SF6

5N

Trichlorure de bore

BCl3

5N

Phosphine

PH3+H2

6N

Diborane

B2H6+H2

B2H6(5N)+H2(6N)

HCL+H2+Ne

HCL(5N)+H2 
(6N)+Ne(6N)

F2+He

F2(5N)+He(6N)

Nom du produit

Formule moléculaire

Pureza

Protoxyde d'azote

N2O

5N

Dioxyde de carbone

CO2

5N

Chlore

Cl2

5N

Ammoniac

NH3

6N

Hydrogène

H2

6N

Oxygène

O2

5N

Azote

N2

6N

Argon

Ar

6N

Hélium

He

6N

Xénon

Xe

6N

Néon

Ne

6N

Krypton

Kr

6N