名称

英文名称

分子式

纯度

甲硅烷

monosilane

SiH4

6N

乙硅烷

disilane

Si2H6

6N

二氯氢硅

DichIorosilane

Si2H2CL2

5N

三氯氢硅

Trichlorosilane

SiHCL3

5N

四氯化硅

silicon tetrachloride

SiCL4

5N

三氯化硼

boron trichloride

BCL3

5N

磷化氢

hydrogen phosphide

PH3

5.5N

砷化氢

arsenic hydride

AsH3

5.5N

乙硼烷

Borane

B2H6

5N

锗烷

Germanomethane

GeH4

5N

氨气

ammonia

NH3

6N

一氧化二氮

nitrous oxide

N2O

5N

六氟化钨

tungsten hexafluoride

WF6

5N

三氟化硼

boron (tri)fluoride

BF3

5N

三氟化氮

nitrogen trifluoride

NF3

5N

三氟甲烷

trifluoromethane

CHF3

5N

四氟化碳

Carbon tetrafluoride

CF4

5N

名称

英文名称

分子式

纯度

三氟碘甲烷

iodotrifluoromethane

CF3i

4.5N

六氟乙烷

Hexafluoroethane

C2F6

5N

全氟丙烷

Octafluoropropane

C3F8

5N

八氟环丁烷

Octafluorocyclobutane

C4F8

5N

氯气

Chlorine

CL2

5N

 氯化氢

Hydrogen chloride

HCL

5N

溴化氢

Hydrobromic acid

HBr

5N

一氧化碳

Carbon monoxide

CO

5N

二氧化碳

Carbon dioxide

CO2

5N

氮气

Nitrogen

N2

6N

氢气

Hydrogen

H2

6N

氧

Oxygen

O2

5N

氦

Helium

He

6N

氖

Neon

Ne

6N

氙

 Xenon

Xe

6N

氪

Krypton

Kr

6N

氩

 Argon

Ar

6N