名称

英文名称

分子式

纯度

磷化氢

Phosphine

Ph3

6N

砷化氢

arsenic hydride

ASH3

6N

氨气

Ammonia

NH3

6N

氯气

Chlorine

CL2

5N

三氯化硼

boron trichloride

BCL3

5N

四氟化碳

carbon tetrafluoride

CF4

5N

六氟化硫

sulfur hexafluoride

SF6

5N

一氧化二氮

nitrous oxide

N2O

5N

氧气

oxygen

O2

6N

氩气

argon

Ar

6N

氖气

neon

Ne

6N

氙气

xenon

Xe

6N

氟气+氦气

F2+He

F2(5N)+He(6N)

硅烷/乙硅烷+氢气

SiH4/Si2H6+H2混合气

6N