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青岛森瑞思国际贸易有限公司
光伏太阳能用特种气体
名称 |
英文名 |
分子式 |
纯度 |
甲硅烷 |
monosilane |
SiH4 |
5N |
磷化氢+氢气 |
PH3+H2 |
PH3（5.5N）+H2(6N) |
|
氨气 |
Ammonia |
NH3 |
6N |
四氟化碳 |
carbon tetrafluoride |
CF4 |
5N |
三甲基硼+硅烷/氢 |
TMB+SiH4/H2 |
TMB(2.5N)+SiH4(6N)/H2(6N) |
|
乙硼烷+氢气 |
B2H6+H2 |
B2H6（5N）+H2(6N) |
|
甲烷 |
methane |
CH4 |
5N |
氮气 |
nitrogen |
N2 |
5N |
氦气 |
helium |
He |
5N |
氩气 |
argon |
Ar |
5N |
氧气 |
oxygen |
O2 |
5N |
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