名称

英文名称

分子式

纯度

硅烷

silane

SiH4

6N

三氟化氮

Nitrogen Trifluorede

NF3

5N

四氟化碳

carbon tetrafluoride

CF4

5N

六氟化硫

sulfur hexafluoride

SF6

5N

三氯化硼

Boron trichloride

BCl3

5N

磷烷+氢

phosphine

PH3+H2

6N

乙硼烷+氢

Diborane

B2H6+H2

B2H6(5N)+H2(6N)

氯化氢+氢+氖

HCL+H2+Ne

HCL(5N)+H2 
(6N)+Ne(6N)

氟气+氦气

F2+He

F2(5N)+He(6N)

名称

英文名

分子式

纯度

一氧化二氮

Nitrous Oxide

N2O

5N

二氧化碳

carbon dioxide

CO2

5N

氯

chlorine

Cl2

5N

氨

Ammonia

NH3

6N

氢气

Hydrogen

H2

6N

氧气

oxygen

O2

5N

氮气

Nitrogen

N2

6N

氩气

argon

Ar

6N

氦

Helium

He

6N

氙气

Xenon

Xe

6N

氖气

neon

Ne

6N

氪气

Krypton

Kr

6N